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主營(yíng)產(chǎn)品:實(shí)驗(yàn)室裝修,實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì),潔凈室,凈化車(chē)間裝修,GMP凈化工程,實(shí)驗(yàn)室建設(shè),動(dòng)物房實(shí)驗(yàn)室,理化實(shí)驗(yàn)室 等

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集成電路芯片車(chē)間

集成電路芯片車(chē)間

更新時(shí)間:2025-01-13

訪問(wèn)量:3165

廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

生產(chǎn)地址:

簡(jiǎn)要描述:
集成電路芯片車(chē)間是包括一硅基板、至少一電路、一固定封環(huán)、一接地環(huán)及至少一防護(hù)環(huán)的電子元件的環(huán)境車(chē)間。
品牌博泰科創(chuàng)產(chǎn)地國(guó)產(chǎn)
產(chǎn)品新舊全新


集成電路芯片車(chē)間是為了滿足半導(dǎo)體制造工藝需求的潔凈室,該潔凈室對(duì)環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動(dòng)、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相對(duì)于其他工業(yè)潔凈室,集成電路制造潔凈室有面積大、潔凈等級(jí)高、溫濕度控制精度高等特點(diǎn)。

根據(jù)潔凈室空氣循環(huán)特點(diǎn)可以將潔凈室分為三種類型:循環(huán)空調(diào)機(jī)配合高效送風(fēng)口系統(tǒng)、循環(huán)風(fēng)機(jī)配合濕式密封系統(tǒng)和FFU循環(huán)系統(tǒng)。

第一種形式在小規(guī)模低等級(jí)要求的潔凈室設(shè)計(jì)中被廣泛應(yīng)用,對(duì)于大面積高等級(jí)的潔凈室則存在運(yùn)行成本過(guò)高、占用空間過(guò)大等缺點(diǎn)。

第二種形式的設(shè)計(jì)可以滿足集成電路制造潔凈室大面積高等級(jí)的要求,但運(yùn)行成本較高,并且潔凈室風(fēng)速、風(fēng)量調(diào)節(jié)困難,系統(tǒng)升級(jí)改造困難,因此操作靈活性很低。

第三種的FFU循環(huán)系統(tǒng)不僅節(jié)省運(yùn)行空間、潔凈度安全性高、運(yùn)行成本低,而且操作靈活性很高,可以在不影響生產(chǎn)的情況下隨時(shí)進(jìn)行系統(tǒng)升級(jí)和調(diào)整,這些都能很好地滿足半導(dǎo)體制造的需求,因此在半導(dǎo)體制造業(yè)FFU循環(huán)系統(tǒng)逐漸成為最主要的潔凈設(shè)計(jì)方案。

集成電路芯片車(chē)間廠房的技術(shù)特征

(1) 電子類生產(chǎn)廠房因其生產(chǎn)產(chǎn)品對(duì)空間環(huán)境特殊的潔凈度要求,建筑平剖面空間以及技術(shù)措施首先應(yīng)保證生產(chǎn)空間的潔凈度,對(duì)進(jìn)入生產(chǎn)空間的人流物流以及設(shè)備等,均應(yīng)做凈化和無(wú)塵處理。

(2) 集成電路芯片生產(chǎn)過(guò)程中工藝流程一般不是單向的,通常會(huì)出現(xiàn)多次交叉反復(fù)。像芯片生產(chǎn)過(guò)程中的光刻、腐蝕、擴(kuò)散、蒸發(fā)、表面純化等,工藝流程上的往復(fù)交叉頻繁。在設(shè)計(jì)上則要求空間的潔凈度對(duì)各工序均滿足生產(chǎn)要求。因此國(guó)外的生產(chǎn)廠房整個(gè)潔凈生產(chǎn)區(qū)潔凈等級(jí)均按100級(jí)設(shè)計(jì),個(gè)別10級(jí)區(qū)域用設(shè)備手段解決。

(3) 電子產(chǎn)品的更新?lián)Q代快,其生產(chǎn)工藝和設(shè)備也在不斷更新,要求建筑空間有一定的靈活性和可變性,以適應(yīng)工藝和產(chǎn)品不斷的更新?lián)Q代要求。

(4) 集成電路芯片生產(chǎn)雖是流水作業(yè)但因其運(yùn)輸量小不需十分嚴(yán)格的工序銜接,在建筑空間布局上可相對(duì)自由。


集成電路芯片車(chē)間












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