在潔凈室中產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中使用或產(chǎn)生各種酸性和堿性物質(zhì)、有機(jī)溶劑和一般氣體、特種氣體；在致敏性藥物、高活性、有毒性藥物生產(chǎn)過(guò)程還會(huì)有相應(yīng)的有害物質(zhì)排出或泄漏入潔凈室內(nèi)，按生產(chǎn)工藝過(guò)程排出的廢氣的類(lèi)型可將排風(fēng)裝置（系統(tǒng)）大體劃分為下列幾種類(lèi)型，博泰小編帶大家了解關(guān)于潔凈室的幾種系統(tǒng)介紹。

（2）有機(jī)氣體排風(fēng)系統(tǒng)   

在產(chǎn)品生產(chǎn)中使用各類(lèi)有機(jī)物質(zhì)、溶劑作為原輔材料或清洗劑時(shí)，都將會(huì)在相關(guān)的場(chǎng)所或設(shè)備處散發(fā)有機(jī)物質(zhì)、溶劑的氣體，對(duì)這類(lèi)場(chǎng)所或設(shè)備均應(yīng)設(shè)置排風(fēng)裝置。在一般情況下，有機(jī)排風(fēng)系統(tǒng)中的有機(jī)氣體濃度是很低的，若能達(dá)到國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的大氣排放標(biāo)準(zhǔn)時(shí)可直接排入大氣，不需設(shè)置廢氣處理裝置；當(dāng)排風(fēng)系統(tǒng)中有機(jī)氣體濃度超過(guò)規(guī)定時(shí)，應(yīng)設(shè)有機(jī)氣體處理裝置，經(jīng)過(guò)處理達(dá)標(biāo)后才能排入大氣。

（3）酸性氣體排風(fēng)系統(tǒng)

在產(chǎn)品生產(chǎn)中的濕法化學(xué)腐蝕、酸液清洗、實(shí)驗(yàn)室內(nèi)均有酸性氣體排出，在這類(lèi)酸性氣體的排風(fēng)系統(tǒng)通常設(shè)置溫式洗氣吸收塔，處理后排入大氣。

（4）堿性氣體排風(fēng)系統(tǒng)

在排風(fēng)系統(tǒng)氣體中含有堿性物質(zhì)或在排氣中混入堿性化學(xué)試劑，與酸性氣體排風(fēng)系統(tǒng)類(lèi)似，通常采用濕式洗氣吸收塔處理后排入大氣。由于大氣排放標(biāo)準(zhǔn)越來(lái)越嚴(yán)格，需對(duì)含有堿性物質(zhì)（或酸性物質(zhì)）濃度較低的排氣也應(yīng)進(jìn)行凈化處理才能達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)。

（5）熱氣體排風(fēng)系統(tǒng)

對(duì)生產(chǎn)過(guò)程中的各種爐子、高溫滅菌設(shè)備等均有熱氣排出，由于排氣溫度校高，有時(shí)可采用熱回收等方式進(jìn)行處理，若排氣量較小或不便進(jìn)行處理時(shí)，在采取必要的隔熱措施后直接排入大氣。

（7）特殊氣體排氣系統(tǒng)

在半導(dǎo)體集成電路生產(chǎn)中常常需使用一些特殊氣體，其中許多特殊氣體均屬于易燃易爆或有毒甚至劇毒或有腐蝕性的氣體，對(duì)于這類(lèi)排氣系統(tǒng)先應(yīng)按特氣的品種、性質(zhì)劃分排氣系統(tǒng)，必須防止在排氣系統(tǒng)中產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)；其次應(yīng)選用的廢棄處理裝置，排氣系統(tǒng)的設(shè)備、管道的材料選用必須根據(jù)排氣中的特氣性質(zhì)選擇相適應(yīng)的額的材質(zhì)，不得與排放的特氣發(fā)生反應(yīng)。